LED器件及模组领域

Surface morphology、Dimension Measurement   表面形貌、尺寸量测
Optical profiler, SEM, TEM

Film type and thickness    薄膜类型及薄膜厚度
SEM/EDS, TEM/EDS

Q-well structure    量子井结构分析
SEM/EDS, TEM/EDS

Defects (Dislocations)    缺陷分析
TEM

Q-Well Periodic Doping Profile  量子井周期掺杂分布
SIMS

Defect Isolation   缺陷定位
EMMI、OBIRCH

Failure Analysis  失效分析
X-ray，SAM，EMMI，SEM，FIB，TEM

ESD Testing   静电测试
可靠性测试